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激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質的存在將導致激光輸出功率在鏡（面）和電極上的耗損，還會引起激光發射的不穩定。
用途
H2NeArN2CO2KrFXeCOHCL平衡氣 氦-氖激光混合氣
1. 2.0-8.3 He用于工業生產、科學研究和國防建設等領域 二氧化碳激光混合氣
2. 0.4 13.5 13.0 8.0 6.0 16.0 8-124.5 7.0 8.0 8.0 16.0 6-8 2.0 4.0 4 He He He He He He主要用于激光加工、如金屬、陶瓷的切割、焊接與鉆孔以及醫療上用的激光外科等 氪-氟激光混合氣
3. 510 1-1.2 He He用于保護膜暴光以及化學反應等領域。貯存器制造中的石板印刷已開始使用氟化氪激光 密封束激光混合氣 。
4. 18.5 32.5 H2作研究用的密封激光器 準分子激光混合氣
5. 25.89.80.004 1 5 0.2 5Ar He He Ar準分子激光器用于醫療上的外科手術
